用于脆硬性材料的超精密磨削，可磨削光學(xué)鏡片，模壓用鎢鋼模具，光學(xué)玻璃模具，柱銷，套筒等。
用于脆硬性材料的超精密磨削，可磨削光學(xué)鏡片，模壓用鎢鋼模具，光學(xué)玻璃模具，柱銷以及套筒等。
可加工工件口徑100mm，表面粗糙度Ra<10nm面形精度PV<0.15μm。
超精密氣體靜壓主軸（工件軸）
超精密靜壓轉(zhuǎn)臺(tái)（B軸）
超精密液體靜壓導(dǎo)軌（X、Z軸）
高轉(zhuǎn)速氣浮磨削軸（砂輪軸）
X/Z軸均采用直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)，全閉環(huán)控制
PMAC可編程控制器
配置兩套光學(xué)監(jiān)控CCD
在線動(dòng)平衡調(diào)整系統(tǒng)
自水平氣浮隔振系統(tǒng)
壓縮空氣處理系統(tǒng)
